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直线式劳埃透镜镀制机
直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）研发的高端仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm，每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证每个膜层的厚度精度，采用磁控溅射技术来实现膜片的制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度，重复性好，薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。
倍增级磁控镀膜机
倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能，可进行数字化编程、程序控制和动态监测，能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据，达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。
MPO专用遮光膜镀膜设备
该设备为高真空电子束蒸镀设备，即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料，使其气化并沉积在基片表面；此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金；设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统（机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件）等组成。
中高温集热管镀膜生产线
Φ70x4060集热管镀膜生产线，产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室；产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统，工装架装载量20只（Φ70）；工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成，在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热，加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶，接直流电源用于沉积底层金属，工艺2室配2对孪生靶接中频电源；沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层；系统除装卸件外，均自动运行，自动化程度较高，满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
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该系统主要用于高压直流继电器系列产品部件进行抽真空、检漏、充气、封口。本设备为直流高压继电器高真空排气台，由分子泵作为抽气主泵，带2或5个工位排气嘴，工位可单个或任意多个工位组合工作。运行过程实现自动化，包括：人工放置继电器，锁紧密封、预抽、高真空排气、充气检漏、封口再检漏等步序。
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